LCD液晶屏光刻膠性能的好壞對光刻質(zhì)量影響很大，習慣上常用感光度、分辨率、抗蝕性、粘附能力和針孔密度等指標來衡量其優(yōu)劣。下面對幾個指標作一些簡單介紹。
(1)感光度
感光度是一個表征光刻膠對光敏感的性能指標。感光度不同，表示它對光的敏感程度不同，即光化學反應(yīng)所需的曝光量不一樣
對于某固定光強的曝光機，光刻膠的感光度越高，則曝光時間越短；反之，如光刻膠膠的感光度降低，則曝光時間需相應(yīng)加長。
(2)分辨率
分辨率是表征光刻膠的光刻精度的標志之一。它不僅與光刻膠本身有交，還與光刻工藝條件和操作因素有關(guān)。分辨率有兩咱表示法：第一種是以每毫米最多可容納的線條數(shù)來表示，若可分辨的線寬為W/2(線與線之間空白的寬度為W/2)，則分辨率為1/W(條線/毫米)。例如,若W=0.5um,則分辨率為2000條線/毫米.第二種表示分辨率方法為，分辨率=(L1-L0)/2，其中L0為掩模版圖形(即光刻底版)的尺寸，L1為光刻(即曝光顯影腐蝕)后ITO層上圖形的尺寸。目前大多采用的是第一種表示法。
(3)抗蝕性
生產(chǎn)上要求光刻膠對酸、堿化學腐蝕液具有良好的抗蝕能力，即能經(jīng)受得住較長時間的酸堿腐蝕液的浸蝕。實際上，光刻膠只是在針孔密度小、粘附性能良好的情況下，才可能有較好的抗蝕能力。
(4)粘附能力
粘附能力表示光刻膠與襯底之間的牢固程度，它直接影響光刻后的精度。光刻膠的粘附力不僅與光刻膠的本身性質(zhì)有關(guān)，而且與襯底的性質(zhì)及其表面情況有密切關(guān)系，平整、致密、清潔、干燥的襯底表面有利于光刻膠的粘附。此外，光刻膠的配比前烘條件和顯影液配方等因素也都會影響光刻膠的粘附性。
(5)穩(wěn)定性
生產(chǎn)上要求光刻膠具有一定的穩(wěn)定性，即要求光刻膠在常溫和光(主要是紫外光)習蔽的情況下，光刻膠下應(yīng)發(fā)生暗反應(yīng)。要求光刻膠雜質(zhì)含量少，顯影后無殘渣。
(6)針孔密度
單位面積的光刻膠膜上針孔數(shù)目稱為光刻膠膜的針孔，經(jīng)腐蝕之后將在ITO層相應(yīng)位置上形成針孔，它將直接影響光刻質(zhì)量，所以要求光刻膠膜的針孔密度盡可能低。
(7)粘度和固態(tài)含有率
光刻膠的粘度和固態(tài)含有率是影響覆膠膜厚度的主要因素。光刻膠越濃，它的粘度就越大(即越稠)，在相同涂膠條件下，所得到的膠膜就越厚；反之，則粘度小，膠膜薄。因此，我們可以通過改變膠液的濃工來調(diào)節(jié)膠的粘度，進而控制膠膜的厚度。例如，光刻細小的圖形時，為了提高分辨率，膠層必須相對地薄些，故必須采用濃度較稀的膠液。
實驗表明，溫度和光刻膠的固態(tài)含有率對光刻膠的小度有很大影響，溫度高，固態(tài)含有率低均可使光刻膠的粘度變小。固態(tài)含有率不但通過粘度影響膠膜厚度，而且它本身對膜厚也有直接影響，如固態(tài)含有率大，則膠液干燥這后，膠膜就比較厚。在光刻膠中總是存在一定比例的固態(tài)雜質(zhì)微粒，這提高分辨率不利，所以光刻膠配制完畢后，必須用高速離心機或過濾器把固態(tài)雜質(zhì)微粒濾除。
簡體
繁體 
