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LCD液晶屏光刻(圖形)段操作手法及注意事項(xiàng)
 
1、崗位職責(zé)
1.1負(fù)責(zé)顯影液、酸刻液濃度的滴定,使其穩(wěn)定在工藝要求范圍內(nèi),保證生產(chǎn)正常進(jìn)行。
1.2負(fù)責(zé)對所有型號的試酸玻璃進(jìn)行首檢和抽檢,防止批量事故發(fā)生。
1.3負(fù)責(zé)對每個(gè)型號的蝕刻情況進(jìn)行首檢和抽檢,防止批量事故發(fā)生。
1.4負(fù)責(zé)對曝光前每個(gè)型號每張菲林的版本進(jìn)行確認(rèn),和負(fù)責(zé)對每個(gè)型號顯影玻璃貼合效果進(jìn)行確認(rèn),預(yù)防批量事故發(fā)生。
1.5負(fù)責(zé)對生產(chǎn)線衛(wèi)生狀況及不規(guī)范行為進(jìn)行稽核。
1、 機(jī)器設(shè)備、工裝和工具
投影儀、電測筆
4、作業(yè)流程
4.1 作業(yè)前準(zhǔn)備:
4.1.1將當(dāng)天所下工令所有型號查規(guī)格書摘錄本段首中檢所需相關(guān)需求。
4.1.2檢查電測筆、顯微鏡可否正常使用。
4.1.3輔助工具:手指套、無塵紙、油性筆、電池等物料是否需要更換、領(lǐng)取。
4.1.4各項(xiàng)報(bào)表填寫好日期、姓名、受控文件編號。
4.2 菲林檢查。
4.2.1 每款型號投產(chǎn)前由品質(zhì)員確認(rèn)菲林與所需型號、版本是否一致。
4.2.2視向、曝光標(biāo)記、貼合標(biāo)記、顯影標(biāo)記等輔助標(biāo)記是否齊全。
4.2.3玻璃厚度、電阻、玻璃品種與生產(chǎn)所抄規(guī)格書相應(yīng)型號是否一致。
4.2.4依菲林檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)檢驗(yàn)
4.2.5圖菲林檢查判定標(biāo)準(zhǔn)
4.2.4.1圖案區(qū):需顯示的字體或符號,不可有軋傷、折痕、刮傷、空洞,輕微軋傷≤0.2mm可修補(bǔ)不予報(bào)廢(必須在菲林上做好標(biāo)識,并做好檢查記錄)。
4.2.4.2非圖案區(qū):走線不可有軋傷、空洞現(xiàn)象(注:非藥膜面劃傷≤1mm,不在字體或走線上可以不予報(bào)廢。
4.2.4.3組合:貼合效果每款型號新舊菲林貼合余量不能低于0.2mm,特殊型號以規(guī)格書為準(zhǔn)。
4.2.4.4其它:藥膜面或非藥膜面有不可清除異物或其它不良,不合格直接報(bào)廢。
注:①菲林房報(bào)廢時(shí)必須在菲林上作好標(biāo)識。
②生產(chǎn)線退菲林,如刮傷認(rèn)為可以繼續(xù)使用的由生產(chǎn)簽名認(rèn)可。
③菲林房檢查時(shí),如針孔、扎傷、空洞、短路、斷路、折痕在菲林上必須作好標(biāo)識。
4.3顯影玻璃貼合檢查
4.3.1每型號正式投產(chǎn)前首先拿兩片已顯影的玻璃進(jìn)行貼合,檢查貼合效果,即玻璃四個(gè)角的貼合標(biāo)記      ,     為外圓, 為內(nèi)圓,貼合時(shí),內(nèi)圓完全在外圓內(nèi),任何一個(gè)角的內(nèi)外圓相切、相交均為不合格       為相切,      為相交,貼合余量一般控制在±0.02mm以內(nèi),特殊型號以規(guī)格書為準(zhǔn)。
4.4玻璃檢查:
投產(chǎn)玻璃電阻、厚度、玻璃品種要與規(guī)格書一致。
4.5顯影效果檢查
外緣標(biāo)記齊全無線條變細(xì)、毛邊則為OK。
4.5.2.9蝕刻效果檢查
4.5.2.9.1顯微鏡檢查
4.5.2.9.1.1每款型號玻璃試酸后,拿一片玻璃選擇線條最細(xì)最密的走線,用紅色油性筆在背面作好標(biāo)識,打開顯微鏡電源,用無塵布鏡擦拭,玻璃正面朝上調(diào)好焦距,將清晰度調(diào)至最佳狀態(tài)后,對準(zhǔn)光集處慢慢移動,將ITO紅油性筆作好標(biāo)識的線條處,外觀看見是否存刀砍或蝕刻不足、白點(diǎn),若有異常及時(shí)反饋生產(chǎn)處理。
4.5.2.9.1.2如刀砍嚴(yán)重1/3以上或蝕刻不足白點(diǎn),及時(shí)反饋生產(chǎn)助理主管級以上人員處理,并以內(nèi)部聯(lián)絡(luò)單的形式反饋生產(chǎn)、工藝。
4.5.2.9.1.3發(fā)現(xiàn)重大異常時(shí)通知生產(chǎn)在線產(chǎn)品停止蝕刻流程,待工藝處理、品質(zhì)確認(rèn)后量產(chǎn)。
4.5.2.9.1.4所有產(chǎn)品經(jīng)生產(chǎn)、工藝改善后仍存異?;虺霈F(xiàn)有工藝范圍,有無異常的型號一律由生產(chǎn)主管級以上人員、工藝在品質(zhì)報(bào)表上簽字確認(rèn)讓步。
4.5.2.9.1.5規(guī)律性短路修復(fù)后方可流程,無法修補(bǔ)則返工堅(jiān)膜玻璃。
4.5.2.9.1.5.2.9試酸玻璃或酸刻出現(xiàn)短路則用針修復(fù)流程。
4.7.短路檢查
4.7.1戴好手指套,雙手在籃子內(nèi)抽出一片已試酸好的玻璃,左手托住玻璃,右手拿起電測筆,打開電源開關(guān),調(diào)整筆尖上兩根探頭的距離,讓兩根探頭能同時(shí)接觸到玻璃上相鄰兩PIN線或相鄰的兩個(gè)跳點(diǎn)即可.
4.7.2電測筆在PIN線上劃動,若電測筆前端指示燈突然熄滅,證明此處相鄰兩根PIN線相連的走線之間有短路點(diǎn),用紅色油性筆在短路的PIN線之間作好標(biāo)識,再繼續(xù)測完整片玻璃,再將同一籃號的另一片試酸玻璃重疊,用電測筆測相應(yīng)標(biāo)識的PIN線上是否存有短路點(diǎn),若有則視此處為規(guī)律性短路點(diǎn),模號寫在玻璃的背后,規(guī)律性短路作好規(guī)律性標(biāo)識。
4.7.3每測完一籃玻璃后將抽檢結(jié)果記錄在報(bào)表上,將籃號、短路點(diǎn)、模號、型號記錄清楚。
4.7.4將所有短路點(diǎn)的玻璃所對應(yīng)型號、籃號核對后找出相應(yīng)型號、籃號填寫在流程單上,無短路對應(yīng)型號蓋Pass章,以便生產(chǎn)倒籃。
4.7.5短路處理:
4.7.5.1規(guī)律性短路超兩處或兩處以上時(shí),須通知生產(chǎn)進(jìn)行處理并要求生產(chǎn)修復(fù)后重試酸,抽檢生產(chǎn)修復(fù)短路情況。
4.7.5.2非規(guī)律性短路按模數(shù)劃分:
30模以下N<5%生產(chǎn)修復(fù)后流程
N≥5%反饋生產(chǎn)助理主管或以上人員處理(返工或讓步)
30模-70模N<3%生產(chǎn)修復(fù)后流程
N≥30%反饋生產(chǎn)助理主管或以上人員處理(返回或讓步)
70模以上N<2%生產(chǎn)修復(fù)后流程
N≥2%反饋生產(chǎn)帶班主管或以上人員處理(返工或讓步)
注:①、N為非規(guī)律性短路時(shí)需助理主管或以上人員處理確認(rèn)(返工或讓步)
②、讓步玻璃需助理主管級以上人員在品質(zhì)報(bào)表上、異常反饋單上簽字后,方可流程。
③讓步流程玻璃品管應(yīng)在與之相應(yīng)的流程單上加蓋讓步流程章并作好相應(yīng)記錄,以便跟蹤。
4.8巡檢
4.8.1前清洗、預(yù)清洗液液面是否完全覆蓋返工玻璃,來料玻璃存放是否有序,玻璃品種的區(qū)分狀況。
4.8.2作業(yè)員操作是否正確,安全意識,機(jī)器設(shè)備動作狀況。
4.8.3曝光房工藝環(huán)境是否在工藝范圍,預(yù)烘溫度狀況。
4.8.3涂膠效果及涂膠玻璃的返工率。
4.8.4檢查曝光作業(yè)員作業(yè)前準(zhǔn)備和操作中的規(guī)定執(zhí)行狀況。
4.8.5抽檢曝光后玻璃不良項(xiàng)目并分析造成原因,糾正不規(guī)范操作,建議控制措施。
4.8.5.2.9物料存儲、擺放是否在序,注意事項(xiàng)、安全意識。
4.8.7檢查顯檢作業(yè)員操作程序規(guī)范性,有無違規(guī)操作,抽檢修復(fù)后的玻璃有無漏修、劃傷、修斷線條等。
4.8.8監(jiān)控酸刻作業(yè)員作業(yè)狀況
4.8.9抽檢中清洗已蝕刻后的玻璃存放膠籃有無被酸氣蝕刻掉圖案,若存類似現(xiàn)象及時(shí)反饋生產(chǎn)組長以上人員處理。
4.8.10巡檢存重大異常時(shí)暫停生產(chǎn)并及時(shí)反饋生產(chǎn)主管以上人員及時(shí)采取有效措施。
4.8.11所有巡檢狀況全部匯總在圖形品管日總結(jié)報(bào)表上,以便生產(chǎn)知悉落實(shí)改善。
 5、酸堿滴定:
5.1機(jī)器設(shè)備、工裝和工具
不銹鋼桌臺、滴定架、酸式滴定管、堿式滴定管、5ml吸液管、20ml吸液管、洗耳球、100ml錐形瓶、噴壺、氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)溶液、鹽酸標(biāo)準(zhǔn)溶液、酚酞、酒精、滴管、酸刻、堿液、DI水、手指套。
5.2酸刻液滴定過程
5.2.1作業(yè)前準(zhǔn)備
5.2.1.1配制酚酞試劑:拿一干凈小玻璃瓶,取少量酚酞粉末放進(jìn)瓶內(nèi),加適量酒精,搖均。
5.2.1.2把噴壺內(nèi)裝滿干凈的DI水。
5.2.1.3把吸液管,錐形瓶用DI水清洗干凈
5.2.2滴定程序
5.2.2.1戴好手指套用5ml的吸液管和洗耳球在酸刻液槽中吸取已配制好的酸刻液2ml放進(jìn)100ml錐形瓶內(nèi)。
5.2.2.2用滴管取適量酚酞試劑,往裝有酸刻的錐形瓶中滴入2-3滴,再用噴壺沿瓶口四周往瓶內(nèi)注入DI水至約40ml刻度處.
5.2.2.3在酸式滴定管中加入氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)溶液,并把液面停在0刻度位置.
5.2.2.4右手握錐形瓶于滴定管正下方,左手輕捏酸式滴定管下方的橡皮開關(guān),眼睛盯住錐形瓶內(nèi)溶液,讓氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)溶液慢慢滴入瓶內(nèi),右手輕輕晃動錐形瓶,直到瓶中溶液變紅即止。
5.2.2.5讀取酸式滴定管內(nèi)液面處刻度,記下。
5.2.2.5.2.9計(jì)算濃度:讀取的刻度數(shù)×氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)溶液濃度÷所取酸刻液的讀數(shù)2即可得出酸刻的濃度(單位:mol/L)
5.2.2.7把計(jì)算出的結(jié)果作好記錄,并及時(shí)反饋給生產(chǎn)線.
5.2.2.8把瓶內(nèi)廢液在指定地方倒掉并把瓶子和吸液管清洗干凈.
5.2.2.9把桌臺收拾干凈并把物品罷放整齊.
5.2.2.10結(jié)束
5.3顯影液(堿液)滴定過程
5.3.1作業(yè)前準(zhǔn)備
5.3.1.1配制酚酞試劑:拿一干凈小玻璃瓶,取少量酚酞粉末放進(jìn)瓶內(nèi),加適量酒精,搖均。
5.3.1.2把噴壺內(nèi)裝滿干凈的DI水。
5.3.1.3把吸液管,錐形瓶用DI水清洗干凈
5.3.2滴定程序
5.3.2.1戴好手指套用20ml的吸液管和洗球在顯影槽中吸取已配制好的堿液20ml放進(jìn)100ml錐形瓶內(nèi)。                      
5.3.2.2用滴管取適量酚酞試劑,往裝有堿液的錐形瓶內(nèi)滴入2-3滴,此時(shí)瓶內(nèi)溶液變成紅色,再用噴壺沿瓶口四周向瓶中加入DI水至約40ml刻度處。
5.3.2.3在堿式滴定管內(nèi)加入鹽酸標(biāo)準(zhǔn)溶液至0刻度處。
5.3.2.4右手握錐形瓶于堿式滴定管正下方,左手輕輕扭動滴定管下面的開關(guān),讓鹽酸標(biāo)準(zhǔn)溶液慢慢滴入瓶內(nèi),眼睛盯住錐形瓶中溶液,右手輕輕晃動錐形瓶,直到瓶中溶液由紅變白即止。
5.3.2.5讀取滴定管內(nèi)液面處刻度,記下。
5.3.2.5.2.9計(jì)算濃度: 讀取的刻度數(shù)×鹽酸標(biāo)準(zhǔn)溶液濃度×4÷所取堿液的讀數(shù)20即可得出顯影的濃度(單位:%)
5.3.2.7把計(jì)算出的結(jié)果記錄在《酸堿液濃度記錄表》(附表1)并及時(shí)反饋給生產(chǎn)線。
5.3.2.8把瓶內(nèi)廢液在指定地方倒掉并把瓶子和吸液管清洗干凈。
5.3.2.9把桌臺收拾干凈并把物品擺放整齊。
5.3.2.10結(jié)束
5.4脫膜液(堿液)中清洗堿液,前清洗堿液滴定過程,同顯影液滴定過程。
5.5注意事項(xiàng):
5.5.1酸堿吸液管,錐形瓶要做好標(biāo)識分開使用,嚴(yán)禁混用。
5.5.2取液前吸液管,錐形瓶要徹底清洗干凈。
5.5.3取液時(shí)讀數(shù)和滴定時(shí)讀數(shù)視線一定要與液面在同一水平線上,讀數(shù)時(shí)刻度要與液面底部為準(zhǔn)。
5.5.4取液或滴定時(shí)一定要戴手指套,若酸堿液不慎濺到皮膚或眼睛內(nèi),立即用大量清水沖洗,并就醫(yī)。
5.2.9、異常處理
7、數(shù)據(jù)記錄
《圖形段品管首檢記錄》
《圖形段品管試酸記錄》
8、安全
9、本崗位操作技能要求
 
10、本崗位應(yīng)知應(yīng)會知識
《前工序檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)》
發(fā)布人:LCD液晶屏 發(fā)布時(shí)間:2016年1月4日 已被瀏覽 1163

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