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        光刻膠一般在低溫避光條件下貯存，因此使用光刻膠前先把膠從低溫環(huán)境中取出，直到瓶?jī)?nèi)膠的溫度和室內(nèi)空氣的溫度一致時(shí)，開啟光刻膠的瓶蓋，膠在使用前粘度須行測(cè)試。因?yàn)槟z粘度高時(shí)，涂膠厚抗蝕性雖然高，但其分辨低，相反膠的粘度低時(shí)，其抗蝕能力較差，但其分辨率高，通常膠粘度的調(diào)整，使用稀釋的方法，即將高粘度的膠調(diào)成低粘度膠。涂膠前的ITO玻璃表面狀況對(duì)光刻膠與ITO層粘附質(zhì)量影響極大。在生產(chǎn)過(guò)程中為保證ITO膜與光刻膠間有良好的接觸和粘性，清洗后的玻璃須干凈及干燥。

涂膠的質(zhì)量要求是：膠與ITO粘附良好，不能有脫落現(xiàn)象；涂膠厚度均勻一致，不能有厚有薄，這樣在顯影，蝕刻時(shí)會(huì)出現(xiàn)圖形缺陷。涂膠的表面一般不允許有條紋、針孔、突起等缺陷。涂膠是通過(guò)膠輥將光刻膠均勻地涂在ITO玻璃正面上。為確保涂膠質(zhì)量，涂膠工作須在潔凈的條件下進(jìn)行.